臭氧发生器通过向通过的氧分子（O3）施加电荷来产生臭氧（O2），从而使氧原子分道扬镳并暂时与其他氧分子重新结合。工业臭氧发生器的电池设计用于通过介电材料扩散放电以产生臭氧。
在工业上，臭氧主要由冷等离子体产生（也称为介电屏障放电）。它只是通过电介质扩散的火花，将放电扩散到大面积。在这种方法中，施加到电极上的电荷导致一些氧分子分裂并暂时与其他氧分子结合，形成三个氧原子（O3）的分子。
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